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ナガセインテグレックス、2mワークの真直度測定可能に

メーカー名商品名
ナガセインテグレックス超精密真直度測定ユニット「SMU-01」

機上対応ユニット開発

 ナガセインテグレックス(岐阜県関市)は、2000mm以上のワークに対応する超精密真直度測定ユニット「SMU-01」を開発した。工作機械、半導体装置、産業機械など、大型精密部品を取り扱う各メーカーからの引き合いを見込む。
 大型マシニングセンタや門形平面研削盤などに取り付けて使用する。工作機械のベッド、精密長尺機械部品、マスターゲージ、Tダイなどの大型ワークに対応するだけでなく、機上計測を可能にしたことで補正加工にかかる手間を減らした。
 測定精度(繰り返し測定再現性)は、2mワークを対象にした場合で±0.25マイクロm。同社従来機に比べて大幅に改善した。垂直面や水平面の傾き変化といった大型加工機の運動精度に左右されない点もメリットに上げている。
 同社によると、「2000mmを超える大型部品の真直度は、これまで高精度測定ができなかった」という。開発期間は約8年。超精密装置として、ワークサイズ、材質、測定精度に合わせて、最適なセンサやシステム構成を提案する。