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カイジョー、超音波で固着汚れ除去

メーカー名商品名
カイジョーSPOT SHOWER 200kHz

ノズルから中間周波数照射

27084

 カイジョー(東京都羽村市)は、レジスト剥離やエッチング後の残渣除去向けに超音波洗浄機「SPOT SHOWER 200kHz」を発売した。精密加工部品、光学部品、半導体ウエハなどを想定。純水以外の洗浄液にも対応する。
 20110型発振器「QT−015」と16SS振動子で構成した。ノズルタイプの超音波洗浄機として、局所的に固着した汚れを除去する。最大の特長に挙げたのは、中間周波数(200kHz)の照射を可能にしたこと。「低い周波数超音波をノズルから効率良く照射することが困難だった」(超音波機器事業部)ことから、振動子の研究を通じて新しいノズル構造を開発した。
 細いノズルから高周波(430kHz~3MH)を噴射する超音波洗浄機は、HDDディスクや半導体ウエハなどに付着した微細な汚れ除去に適しているものの、局所的に固着した汚れに対する洗浄力不足が指摘されていたという。