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THK、低ウェービングと高剛性追求

メーカー名商品名
THKLMガイド

半導体製造装置向け等、小型の新LMガイド

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 THK(寺町彰博社長)は、転動体の振幅を最小化した超低ウェービング性能と、ローラーガイドを凌ぐ超々高剛性を実現したLMガイド(SPR/SPS形)の小型形番を製品化し、このほど販売を開始した。
 最大級のポイントである超低ウェービング性能は、静圧案内に匹敵するものという。今回の小型形番追加により、仕様用途拡大を狙う。小型サイズの用途として半導体製造装置や検査装置の分野を狙う。
 ラジアルタイプ(SPR形)と4方向等荷重タイプ(SPS形)がある。レール幅は25ミリと30ミリの2種を標準で揃える。