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黒田精工が簡便な測定装置

メーカー名商品名
黒田精工超精密平面度測定装置(SF-640M)

研削後の平面度、超精密に測定・評価

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 黒田精工(黒田浩史社長)は、精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとなる「超精密平面度測定装置(SF-640M)」を開発したと発表した。JIMTOFで披露し受注を開始する。初年度10台の販売計画。
 平面研削盤の加工精度がますます向上するなか、求められる加工ワークの精度証明には、これまで3次元測定機が欠かせなかった。これに対し同社は「より簡便に測定できるよう」同測定装置を開発した。接触式測定子または非接触のレーザー(オプション)でワーク表面をスキャニングし、ワーク全体の様子を豊富なユーザーインターフェースで表示する。測定ワークは金属をはじめガラス、セラミックス、各種ウエハなどに対応し「幅広い用途で活用できる」(同社)という。
 開発にあたってはシリコンウエハの超精密測定を可能にする自社の「ナノメトロ技術」を応用した。平面とエッジの高精度な測定ができ、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形で評価できる。
 測定ヘッドの案内には高精度エアスライドを採用。駆動方式はリニアモータとサーボモータ・ボールねじ。最大650×450ミリ、重量で40キロまでのワークに対応する。総合測定精度0.6ミクロン、繰り返し精度0.1ミクロン。