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三菱重工工作機械、超精密加工をより微細・高精度に

メーカー名商品名
三菱重工工作機械ABLASER(アブレーザー)-DUV

深紫外レーザー採用の新機種

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 三菱重工グループの三菱重工工作機械(白尾 誠二社長)はこのほど、微細レーザー加工機の新モデルとして、短パルスの深紫外(DUV)レーザーを採用した「ABLASER(アブレーザー)-DUV」を開発した。
 レーザー光を連射する高品質な短パルスDUVレーザー発振器や、精密なレンズ・プリズムを使いレーザー光を自由に屈折や回すことができる独自の光学系ヘッドを搭載。ピコ秒級のDUVレーザーは短波長のため、集光径を小さくすることで加工における微細度を高めることが可能で、新モデルの最小加工径は、グリーンレーザーを採用している従来機の50μmに対し、10μmまで向上した。このため、「非常に微細な加工を可能にしただけでなく、集光スポット形状が真円に近いことから極めて高精度な穴加工を実現する」(同社)という。さらに、DUVレーザーは光エネルギーが大きいため、ガラス材料や化合物半導体材料に対しても高い加工能力を発揮する。
 同社では新機種の製品化により、積層化が進む半導体をはじめ、多様な材料の加工と加工精度・品質の向上に対するニーズに対応する方針だ。なお、同機は、東京で開催されたJIMTOF2016に出品、注目を集めた。