半導体装置1月の販売高
69%増、11カ月続けて2ケタ増
（一社）日本半導体製造装置協会（SEAJ、会長=牛田一雄・ニコン取締役）が2月24日発表した1月の日本製半導体製造装置の販売高（輸出を含む3カ月移動平均、速報値）は前年同月比69.4%増の3063億2100万円だった。2ケタの増加は11カ月連続に。 一方、同日発表した1月の日本製FPD（薄型平面パネル）製造装置の販売高は同1.2%減の439億6000万円だった。水準としては低くないが3カ月続けて減少した。
（2022年3月10日号掲載）
