非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope＜オプトスコープ＞
表面粗さをサブナノレベルで
全てのレンズ倍率にて、垂直方向に一貫した高分解能0.01nmを持つ３D白色干渉顕微鏡です。微細な粗さ・うねり・形状解析など幅広く対応します。
従来では測定が難しい透明・低反射・鏡面なども測定が可能です。
■高分解能・高指示精度・高再現性
■非接触・非破壊・短時間で測定
■透明膜厚も測定
■ワークピースのサイズに応じたラインナップをご用意
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